Search


Current filters:
Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 11-20 of 34 (Search time: 0.003 seconds).
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2017Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремниюПросолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Степнов, А. К.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.
2014Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Русакевич, Д. А.; Янковский, Ю. Н.
2016Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействияхПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Янковский, Ю. Н.
2008Взаимодействие атомов золота с преципитатами кислорода в монокристаллическом кремнииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, О. Н.; Янковский, Ю. Н.
2013Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2013Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2011Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфораВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2012Микротвердость монокристаллов полупроводниковых материаловВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2022Исследование структуры полиимидных пленок на кремнииБринкевич, Д. И.; Просолович,   В. С.; Янковский, Ю. Н.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2020Адгезия к монокристаллическому кремнию пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, имплантированных ионами бора и фосфораВабищевич, С. А.; Бринкевич, С. Д.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.