Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/19909| Title: | Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния. Автореферат диссертации |
| Authors: | Васюков, А. В. |
| Issue Date: | 2006 |
| Citation: | Васюков А. В. Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / А. В. Васюков; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники - Защита сост.27.05.2006. - Минск, 2006. - 21 с. |
| Abstract: | Целью работы является разработка высокоэффективного технохимического оборудования и технологического процесса получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния гидрогенизацией тетрафторида кремния в эвтектическом расплаве солей. |
| metadata.local.description.annotation: | The aim of the work is the development of a highly efficient technological process of monosilane synthesis from apatite processing waste for a polycrystalline silicon manufacture by the silicon tetrafluoride hydrogenation in the ionic melt of salts. |
| Keywords: | Автореферат диссертации Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ термолиз гексафторсиликата натрия гидрирование кальция гидрогенизация тетрафторида кремния thermolysis of sodium hexafluosilicate calcium hydrogenation silicon tetrafluoride hydrogenation 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/19909 |
| Appears in Collections: | Авторефераты диссертаций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| avtoreferat_Васюков А.В._2006.pdf | 922.74 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.