Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/20345
Title: Плазменные эмиссионные системы для электронно-лучевых технологий. Часть 2
Authors: Антонович, Д. А.
Груздев, В. А.
Солдатенко, П. Н.
Залесский, В. Г.
Keywords: Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Плазменный эмиттер
Электродная структура
Пучок заряженных частиц
Plasma emitter
Electrode structure
Charged particle beam
Issue Date: Mar-2017
Publisher: Полоцкий государственный университет
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2017. - № 4. - C. 45-51
Series/Report no.: Серия C, Фундаментальные науки;2017. - № 4
Abstract: Продолжение работы, опубликованной в предыдущем номере. Представлена конструкция плазменного источника электронов со скрещенными E×H полями, способного формировать низкоэнергетичные электронные и ионные пучки для реализации плазмохимических процессов и технологий нанесения пленок и покрытий различного назначения методами попеременного или одновременного теплофизического электронного и модифицирующего ионного воздействия. Предложен ряд эскизов конструкций структур плазменных источников, перспективных к использованию для реализации комбинированного воздействия электронно-ионными пучками.=Continuation of the work published in the previous issue. The design of a plasma electron source with crossed E × H fields capable of forming low-energy electron and ion beams for the realization of plasmachemical processes and technologies for depositing films and coatings for various purposes by alternating or simultaneous thermophysical electronic and modifying ionic effects is presented. A number of sketches of designs of structures of plasma sources promising for use for realization of combined action by electron-ion beams are proposed.
Description: PLASMA-EMISSION SYSTEMS FOR ELECTRON-BEAM TECHNOLOGIES Part 2 D. ANTONOVICH, V. GRUZDEV, P. SOLDATENKO, V. ZALESSKI
URI: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/20345
ISSN: 2070-1624
Appears in Collections:2017, № 4

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Антонович_2017-4.pdf312.18 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.