Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/20347
Title: Спектры отражения гамма-облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезиста
Authors: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Харченко, А. А.
Лукашевич, М. Г.
Просолович, В. С.
Бринкевич, С. Д.
Keywords: Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Фоторезист
Гамма-облучение
Спектры отражения
Показатель преломления
Photoresist
Gamma irradiation
Reflection spectra
Refractive index
Issue Date: Mar-2017
Publisher: Полоцкий государственный университет
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2017. - № 4. - C. 35-39
Series/Report no.: Серия C, Фундаментальные науки;2017. - № 4
Abstract: Методом измерения спектров отражения исследованы облученные γ-квантами 60Co пленки позитивного фоторезиста ФП9120 толщиной 1,8 мкм, нанесенные на поверхность пластин кремния марки КДБ-10 (111) методом центрифугирования. Показано, что облучение γ-квантами 60Co приводит к образованию модифицированного слоя полимера с показателем преломления, отличным от объемного. Обнаружена немонотонная зависимость показателя преломления приповерхностного слоя фоторезиста с ростом дозы облучения, обусловленная изменением молярной массы полимера в процессе эксперимента.=Measuring the reflectance spectra were studied by γ-rays irradiated 60Co films positive photoresist FP9120 1,8 microns thick, deposited on the surface of silicon wafers brand KDB-10 (111) by centrifugation. It is shown that irradiation 60Co γ-rays leads to the formation of the modified polymer layer having a refractive index different from the bulk. A no monotonic dependence of the refractive index of the surface layer of photoresist with increasing radiation dose, due to the change of the molar mass of the polymer during irradiation.
Description: REFLECTION SPECTRA OF Γ-IRRADIATED FILMS OF DIAZOQUINONE-NOVOLAK PHOTORESIST S. VABISHCHEVICH, N. VABISHCHEVICH, D. BRINKEVICH, A. KHARCHENKO, M. LUKASHEVICH, V. PROSOLOVICH, S. BRINKEVICH
URI: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/20347
ISSN: 2070-1624
Appears in Collections:2017, № 4

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Вабищевич_2017-4.pdf181.13 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.