Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/21439| Title: | Исследование воздействия облучения на физико-механические свойства кремния и структур на его основе |
| Authors: | Вабищевич, С. А. |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет |
| Citation: | Исследование воздействия облучения на физико-механические свойства кремния и структур на его основе : отчет о НИР (заключ.) / Полоцкий государственный университет ; рук. С. А. Вабищевич. – Новополоцк, 2013. – 80 с. |
| Abstract: | Целью работы являлось исследование характера влияния имплантации ионов Sb+ на физико-механические свойства пленок промышленного фоторезиста ФП 9120 на поверхности кремниевых пластин и имплантации ионов бора и фосфора на физико-механические свойства пластин промышленного кремния марки КЭФ 4,5(100), КДБ 12(100) и КДБ 10(111). Методы исследования: микроиндентирование, метод атомно-силовой микроскопии, метод масс-спектрометрии вторичных ионов. |
| Keywords: | Отчет о НИР МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ ФОТОРЕЗИСТ ИМПЛАНТАЦИЯ МИКРОИНДЕНТИРОВАНИЕ МИКРОТВЕРДОСТЬ ТРЕЩИНОСТОЙКОСТЬ АДГЕЗИЯ ЭФФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ АМОРФИЗАЦИЯ |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/21439 |
| Appears in Collections: | Отчеты о НИР-2013 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ИНФОРМАЦИОННАЯ КАРТА.pdf | 417.43 kB | Adobe PDF |  View/Open | |
| РЕКЛАМНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ ПРОДУКЦИИ.pdf | 348.8 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.