Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/2163
Название: Исследование влияния эффекта «загрузки» разрядной камеры на оптические характеристики СВЧ-плазмотрона резонаторного типа
Авторы: Бордусов, С. В.
Мадвейко, С. И.
Дата публикации: 2010
Издатель: Полоцкий государственный университет
Библиографическое описание: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B, Промышленность. Прикладные науки. - 2010. - № 8. – С. 103-106.
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния различного количества и разной толщины объектов обработки, расположенных в объеме разрядной камеры, на плазмообразование в СВЧ-плазмотроне на базе резонатора прямоугольной формы. В качестве материала обрабатываемых объектов использовались пластины из монокристаллического кремния, ситалла и нержавеющей стали. Изучались оптико-спектроскопическая и интегральная оптическая светимость СВЧ-разряда низкого вакуума. = The results of researche of the influence of various quantity and different thickness of processed objects located in the volume of the discharge chamber on plasma formation in a plasmatron on the base of the rectan-gular form resonator are presented. The materials of processed object were monocrystalline silicon, sitall and stainless steel. Optical spectroscopic and integrated optical light-characteristics of the microwave discharge of low vacuum were studied.
Ключевые слова: приборостроение
плазменные установки
СВЧ-разряды
СВЧ-плазмотроны
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/2163
Права доступа: open access
Располагается в коллекциях:2010, № 8

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
103-106.pdf331.72 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.