Разработка и исследование экспериментальных макетов электронных источников с плазменным эмиттером для компенсации ионного пучка или совместного ионно-электронного воздействия по заданию : "Комбинированные электронно-ионные системы и плазменно-пучковые процессы модификации поверхности и нанесения легированных диэлектрических слоев для электроники"

Антонович, Д. А.; Голубев, Ю. П.; Груздев, В. А.; Солдатенко, П. Н.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/23400

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Антонович, Д. А.	-
dc.contributor.author	Голубев, Ю. П.	ru_RU
dc.contributor.author	Груздев, В. А.	ru_RU
dc.contributor.author	Солдатенко, П. Н.	ru_RU
dc.date.accessioned	2019-04-04T11:45:37Z	-
dc.date.available	2019-04-04T11:45:37Z	-
dc.date.issued	2018	-
dc.identifier.citation	Разработка и исследование экспериментальных макетов электронных источников с плазменным эмиттером для компенсации ионного пучка или совместного ионно-электронного воздействия по заданию : "Комбинированные электронно-ионные системы и плазменно-пучковые процессы модификации поверхности и нанесения легированных диэлектрических слоев для электроники" [Электронный ресурс] : отчет о НИР (заключительный) : ГБ - 1516 / Министерство образования Республики Беларусь, Полоцкий государственный университет ; руководитель Д.А. Антонович, В.А. Груздев ; исполнители : Ю.П. Голубев, П.Н. Солдатенко. - № ГР 20160829. - 2018. - 60 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://elib.psu.by/handle/123456789/23400	-
dc.description.abstract	Цель работы – разработка плазменных источников электронов, формирующих низкоэнергетичные пучки для компенсации ионного объёмного заряда, создание и исследование экспериментальных макетов комбинированных электронно- и ионно-плазменных источников, предназначенных для поверхностной модификации материалов.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Полоцкий государственный университет	ru_RU
dc.subject	Отчет о НИР	ru_RU
dc.subject	Плазменные источники заряженных частиц	ru_RU
dc.subject	Низкоэнергетичные пучки	ru_RU
dc.subject	Плазменные эмиттеры	ru_RU
dc.subject	Электронно- и ионно лучевые технологии	ru_RU
dc.title	Разработка и исследование экспериментальных макетов электронных источников с плазменным эмиттером для компенсации ионного пучка или совместного ионно-электронного воздействия по заданию : "Комбинированные электронно-ионные системы и плазменно-пучковые процессы модификации поверхности и нанесения легированных диэлектрических слоев для электроники"	ru_RU
dc.type	Report of NIR	ru_RU
Appears in Collections:	Электрофизика. Плазменные эмиссионные системы. Отчеты о НИР-2018

Files in This Item:

File	Size	Format
ИК_20160829.pdf	251.2 kB	Adobe PDF	View/Open
РТО_20160829.pdf	242.74 kB	Adobe PDF	View/Open
Антонович_20160829.pdf	2.18 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Recommend this item Google Scholar