Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/23400
Title: «Разработка и исследование экспериментальных макетов электронных источников с плазменным эмиттером для компенсации ионного пучка или совместного ионно-электронного воздействия» по заданию: «Комбинированные электронно-ионные системы и плазменно-пучковые процессы модификации поверхности и нанесения легированных диэлектрических слоев для электроники»
Authors: Антонович, Д. А.
Keywords: Отчет о НИР
Плазменные источники заряженных частиц
Низкоэнергетичные пучки
Плазменные эмиттеры
Электронно- и ионно лучевые технологии
Issue Date: 2018
Publisher: Полоцкий государственный университет
Citation: «Разработка и исследование экспериментальных макетов электронных источников с плазменным эмиттером для компенсации ионного пучка или совместного ионно-электронного воздействия» по заданию: «Комбинированные электронно-ионные системы и плазменно-пучковые процессы модификации поверхности и нанесения легированных диэлектрических слоев для электроники» : отчет о НИР (заключ.) / Полоцкий государственный университет ; рук. Д. А. Антонович. – Новополоцк, 2018. – 60 с.– № ГР 20160829.
Abstract: Цель работы – разработка плазменных источников электронов, формирующих низкоэнергетичные пучки для компенсации ионного объёмного заряда, создание и исследование экспериментальных макетов комбинированных электронно- и ионно-плазменных источников, предназначенных для поверхностной модификации материалов.
URI: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/23400
Appears in Collections:Отчеты о НИР-2018

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
ИК_20160829.pdf251.2 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
РТО_20160829.pdf242.74 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.