Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/47
Title: Микропрочностные свойства монокристаллического кремния, выращенного при наложении на расплав сложных электромагнитных полей
Authors: Бринкевич, Д. И.
Вабищевич, Н. В.
Вабищевич, С. А.
Keywords: Химия
Химические элементы и их соединения
Энергетика
Полупроводниковые материалы и изделия
Issue Date: Apr-2012
Publisher: ПГУ
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки.- Новополоцк: ПГУ, 2012.- № 4.
Series/Report no.: Серия C, Фундаментальные науки;2012.- № 4. - С. 77-82
Abstract: Методом микроиндентирования исследованы монокристаллы кремния, полученные по методу Чохральского при наложении на расплав комбинированных переменных и стационарных магнитных полей. Экспериментально показано, что микропрочностные характеристики монокристаллического кремния (микротвердость Н, микрохрупкость Z, коэффициент вязкости разрушения K1С и эффективная энергия разрушения γ) зависят от условий выращивания (наложения магнитных полей). Обнаружены существенные различия микропрочностных свойств образцов, вырезанных из нижних и верхних частей одного и того же слитка. Особенности микропрочностных свойств монокристаллического кремния обусловлены различиями в дефектно-примесном составе исследовавшихся пластин.
Description: MICROSTRENGTH PROPERTIES OF SILICON SINGLE CRYSTAL RECEIVED FROM THE MELT UNDER THE INFLUENCE OF COMBINED MAGNETIC FIELDS / D. BRINKEVICH, N. VABISCHEVICH, S. VABISCHEVICH / Silicon single crystals received by Czochralski method from the melt under the influence of combined dynamic and steady magnetic fields were investigated by microindtntion method. It is experimentally shown, that microstrengten characteristics of silicon single crystal (microhardness Н, microfragility Z, factor of viscosity of destruction К1С and effective energy of destruction γ) depend on conditions of receipt (parameters of magnetic fields). Essential distinctions of microstrengten properties of the samples which have been cut out from the bottom and top parts of the same ingot are found out. The specified features of microstrengten properties are caused by distinctions in defect-impurity structure of investigated wafers.
URI: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/47
Appears in Collections:2012, № 4

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vabishhevich_2012-4.pdf277.49 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.