Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/72
Title: Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния
Authors: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Просолович, B. C.
Янковский, Ю. Н.
Keywords: Химические элементы и их соединения
монокристаллический кремний
Энергетика
микропрочность
Issue Date: Oct-2012
Publisher: Новополоцк: ПГУ
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки.- Новополоцк: ПГУ.- 2012.- № 12.- С. 79-88
Series/Report no.: Серия C, Фундаментальные науки;2012.- № 12
Abstract: Методом микроиндентирования исследованы физико-механические свойства монокристаллического кремния, подвергнутого низкоэнергетичной имплантации. Обнаружено приповерхностное упрочнение монокристаллов кремния при имплантации ионов с энергиями E ≥ 500 кэВ, причем величина радиационного приповерхностного упрочнения уменьшается при снижении энергии ионов. При низкоэнергетичной имплантации (Е = 60 кэВ) обнаружено увеличение микротвердости в глубине пластины на расстояниях, существенно превышающих радиус проецированного пробега ионов. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к разупрочнению приповерхностной области монокристалла кремния на глубине до 1 мкм и увеличению трещиностойкости (росту K1С и γ) при малых нагрузках. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого термического отжига. Обсуждается механизм радиационного упрочнения кремния при ионной имплантации.
Description: MICROSTRENGTHING PROPERTIES OF SURFACE LAYERS OF IMPLANTED SILICON SINGLE CRYSTALS / S. VABISHCHEVICH, N. VABISHCHEVICH, D. BRINKEVICH, V. PROSOLOVICH, YU. YANKOVSKI
URI: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/72
Appears in Collections:2012, № 12

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
VABISHCHEVICH_2012-12-p79.pdf360.92 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.