Showing results 7 to 26 of 26
< previous
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2015 | Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2022 | Исследование структуры полиимидных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2002 | Магнитотранспортные характеристики монокристаллического кремния с включениями гадолиния | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Лукашевич, М. Г.; Мазаник, А. А.; Просолович, В. С.; Самохвал, В. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2011 | Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2012 | Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2002 | Микротвердость ковалентных полупроводников, легированных редкоземельными примесями | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Явид, В. Ю. |
| 2012 | Микротвердость монокристаллов полупроводниковых материалов | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2008 | Микротвердость пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2021 | Модификация пленок диазохинон-новолачного фоторезиста имплантацией ионов бора и фосфора при повышенной плотности ионного тока | Шестовский, Д. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Shestovsky, D.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Yankovsky, U.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N. |
| 2014 | Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2014 | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Русакевич, Д. А.; Янковский, Ю. Н. |
| 2013 | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2015 | Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния имплантированных ионами В+ и Р+ в процессе создания полупроводниковых приборов по КМОП технологии | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2010 | Особенности дефектообразования в кремнии, имплантированном ионами с удельной энергией ∼1 МэВ/Нуклон | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2010 | Приповерхностное упрочнение пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2014 | Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремний | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+ | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, С. Д. |
| 2016 | Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Гайшун, В. Е.; Brinkevich, D.; Yankovski, Y.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Gaishun, V.; Prosolovich, V. |
