Browsing by Author Ковальчук, Н. С.
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2022 | Локализация атомов азота в структурах Si–SiO2 | Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Петлицкий, А. Н.; Ковальчук, Н. С.; Соловьев, Я. А.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В.; Odzaev, V.; Prasalovich, U.; Pyatlitski, A.; Kovalchuk, N.; Soloviev, Ya.; Zhigulin, D.; Shestovski, D. |
2023 | Создание субмикронных структур интегральных микросхем с многоуровневой металлизацией | Наливайко, О. Ю.; Цивако, А. А.; Ковальчук, Н. С.; Трусов, В. Л.; Чуйко, В. Н.; Кисель, А. М. |