Просмотр собрания по группе - Авторы Наливайко, О. Ю.
Отображение результатов 1 до 3 из 3
Дата публикации | Название | Автор(ы) |
2025 | Использование пленок поликристаллического кремния, легированных в процессе роста фосфором, для создания субмикронных интегральных микросхем | Наливайко, О. Ю. |
2025 | Плазмохимическое травление оксида кремния при формировании контактных окон с высоким аспектным соотношением | Наливайко, О. Ю.; Карась, О. В.; Дорохович, К. А.; Жигулин, Д. В. |
2023 | Создание субмикронных структур интегральных микросхем с многоуровневой металлизацией | Наливайко, О. Ю.; Цивако, А. А.; Ковальчук, Н. С.; Трусов, В. Л.; Чуйко, В. Н.; Кисель, А. М. |