Browsing by Author Наливайко, О. Ю.
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2025 | Использование пленок поликристаллического кремния, легированных в процессе роста фосфором, для создания субмикронных интегральных микросхем | Наливайко, О. Ю. |
| 2025 | Плазмохимическое травление оксида кремния при формировании контактных окон с высоким аспектным соотношением | Наливайко, О. Ю.; Карась, О. В.; Дорохович, К. А.; Жигулин, Д. В. |
| 2023 | Создание субмикронных структур интегральных микросхем с многоуровневой металлизацией | Наливайко, О. Ю.; Цивако, А. А.; Ковальчук, Н. С.; Трусов, В. Л.; Чуйко, В. Н.; Кисель, А. М. |
