Browsing by Author Шестовский, Д. В.
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2022 | Локализация атомов азота в структурах Si–SiO2 | Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Петлицкий, А. Н.; Ковальчук, Н. С.; Соловьев, Я. А.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В.; Odzaev, V.; Prasalovich, U.; Pyatlitski, A.; Kovalchuk, N.; Soloviev, Ya.; Zhigulin, D.; Shestovski, D. |
2021 | Модификация пленок диазохинон-новолачного фоторезиста имплантацией ионов бора и фосфора при повышенной плотности ионного тока | Шестовский, Д. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Shestovsky, D.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Yankovsky, U.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N. |