DSpace Community: https://elib.psu.by/handle/123456789/1333 2026-09-10T03:04:15Z 2026-09-10T03:04:15Z Стабилизирующая обработка пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF20XX на кремнии Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Гринюк, Е. В. Янковский Ю. Н. Зубова О. А. Бринкевич С. Д. Вабищевич С. А. https://elib.psu.by/handle/123456789/50532 2026-08-26T06:15:51Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Стабилизирующая обработка пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF20XX на кремнии Authors: Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Янковский Ю. Н.; Зубова О. А.; Бринкевич С. Д.; Вабищевич С. А. Abstract: Методами ИК-Фурье-спектроскопии и микроиндентирования исследованы пленки негативных фоторезистов (ФР) AZ nLOF2020 и AZ nLOF2070 толщиной ~ 6.0 мкм, нанесенные на поверхность пластин монокристаллического кремния методом центрифугирования. Показано, что после облучения светом с λ = 404 нм в течение 106 с и последующей сушки при 115 °С длительностью 60 с в отражательно-абсорбционных спектрах фоторезистивных пленок наблюдается смещение в высокоэнергетическую область максимумов интерференционных полос. Оно вызвано уменьшением толщины ФР пленки, обусловленным испарением растворителя в процессе сушки. Эти процессы протекают более интенсивно в пленках AZ nLOF2020, в которых смещение интерференционных полос составляло ~ 9%, в то время как в пленках AZ nLOF2070 оно не достигало 1%. Показано, что полосы поглощения с максимумами при 1070 и 1100 см–1, связанные с асимметричными и симметричными валентными колебаниями С-О-С связей в алифатических эфирах, и при 2940 см–1, обусловленные асимметричными валентными колебаниями СН3 связей, связаны с растворителем. Установлено, что микротвердость пленок серии AZ nLOF20XX увеличивается после стабилизирующей сушки, что вызвано сшиванием молекул фенол-формальдегидной смолы – основы фоторезиста. Полученные экспериментальные данные объяснены с учетом упорядочения структуры фоторезистивной пленки вблизи границы раздела ФР/кремний вследствие ориентации молекул и наличия в пленках AZ nLOF2020 большей концентрации остаточного растворителя. 2025-01-01T00:00:00Z Инклюзивность - приоритетное социальное направление Esg-повестки Редькина, Т. М. Зенькова, И. В. Назаров, П. В. https://elib.psu.by/handle/123456789/50531 2026-08-25T12:37:59Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Инклюзивность - приоритетное социальное направление Esg-повестки Authors: Редькина, Т. М.; Зенькова, И. В.; Назаров, П. В. 2025-01-01T00:00:00Z Вовлечение бизнеса в реализацию прогрессивных инклюзивных практик Редькина, Т. М. Измайлович, С. В. Круглова, И. А. https://elib.psu.by/handle/123456789/50530 2026-08-25T12:35:17Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Вовлечение бизнеса в реализацию прогрессивных инклюзивных практик Authors: Редькина, Т. М.; Измайлович, С. В.; Круглова, И. А. 2025-01-01T00:00:00Z Правовые основы свободного использования объектов авторского права (сравнительно-правовое исследование) Богоненко, В. А. https://elib.psu.by/handle/123456789/50529 2026-08-25T12:33:43Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Правовые основы свободного использования объектов авторского права (сравнительно-правовое исследование) Authors: Богоненко, В. А. 2025-01-01T00:00:00Z