DSpace Collection: https://elib.psu.by/handle/123456789/22193 2026-09-03T14:41:58Z 2026-09-03T14:41:58Z Стабилизирующая обработка пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF20XX на кремнии Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Гринюк, Е. В. Янковский Ю. Н. Зубова О. А. Бринкевич С. Д. Вабищевич С. А. https://elib.psu.by/handle/123456789/50532 2026-08-26T06:15:51Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Стабилизирующая обработка пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF20XX на кремнии Authors: Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Янковский Ю. Н.; Зубова О. А.; Бринкевич С. Д.; Вабищевич С. А. Abstract: Методами ИК-Фурье-спектроскопии и микроиндентирования исследованы пленки негативных фоторезистов (ФР) AZ nLOF2020 и AZ nLOF2070 толщиной ~ 6.0 мкм, нанесенные на поверхность пластин монокристаллического кремния методом центрифугирования. Показано, что после облучения светом с λ = 404 нм в течение 106 с и последующей сушки при 115 °С длительностью 60 с в отражательно-абсорбционных спектрах фоторезистивных пленок наблюдается смещение в высокоэнергетическую область максимумов интерференционных полос. Оно вызвано уменьшением толщины ФР пленки, обусловленным испарением растворителя в процессе сушки. Эти процессы протекают более интенсивно в пленках AZ nLOF2020, в которых смещение интерференционных полос составляло ~ 9%, в то время как в пленках AZ nLOF2070 оно не достигало 1%. Показано, что полосы поглощения с максимумами при 1070 и 1100 см–1, связанные с асимметричными и симметричными валентными колебаниями С-О-С связей в алифатических эфирах, и при 2940 см–1, обусловленные асимметричными валентными колебаниями СН3 связей, связаны с растворителем. Установлено, что микротвердость пленок серии AZ nLOF20XX увеличивается после стабилизирующей сушки, что вызвано сшиванием молекул фенол-формальдегидной смолы – основы фоторезиста. Полученные экспериментальные данные объяснены с учетом упорядочения структуры фоторезистивной пленки вблизи границы раздела ФР/кремний вследствие ориентации молекул и наличия в пленках AZ nLOF2020 большей концентрации остаточного растворителя. 2025-01-01T00:00:00Z Deformation approach for the calculation of bent wooden elements Lazovski, D. Hil, A. Gluhov, D. https://elib.psu.by/handle/123456789/49752 2026-03-27T10:43:52Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Deformation approach for the calculation of bent wooden elements Authors: Lazovski, D.; Hil, A.; Gluhov, D. 2025-01-01T00:00:00Z Microstructure-Driven Feasibility of Crushed Bamboo Coarse Aggregate for Structural–Insulating Wall Composites Bakatovich, A. Yagubkin, A. Bakatovich, N. Kizinievič, O. Trambitski, Y. Wen, J. https://elib.psu.by/handle/123456789/49751 2026-08-31T07:04:06Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Microstructure-Driven Feasibility of Crushed Bamboo Coarse Aggregate for Structural–Insulating Wall Composites Authors: Bakatovich, A.; Yagubkin, A.; Bakatovich, N.; Kizinievič, O.; Trambitski, Y.; Wen, J. 2025-01-01T00:00:00Z Обеспечение безопасной эксплуатации магистральных нефтегазопроводов за пределами нормативного срока службы путем восстановительной термической обработки кольцевых сварных соединений Снарский, А. С. Янушонок, А. Н. Snarsky, A. Yanushonak, A. https://elib.psu.by/handle/123456789/49750 2026-03-27T10:27:45Z 2025-01-01T00:00:00Z Title: Обеспечение безопасной эксплуатации магистральных нефтегазопроводов за пределами нормативного срока службы путем восстановительной термической обработки кольцевых сварных соединений Authors: Снарский, А. С.; Янушонок, А. Н.; Snarsky, A.; Yanushonak, A. 2025-01-01T00:00:00Z