https://elib.psu.by/handle/123456789/1333 2026-09-10T03:04:20Z https://elib.psu.by/handle/123456789/50532 Title: Стабилизирующая обработка пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF20XX на кремнии Authors: Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Янковский Ю. Н.; Зубова О. А.; Бринкевич С. Д.; Вабищевич С. А. Abstract: Методами ИК-Фурье-спектроскопии и микроиндентирования исследованы пленки негативных фоторезистов (ФР) AZ nLOF2020 и AZ nLOF2070 толщиной ~ 6.0 мкм, нанесенные на поверхность пластин монокристаллического кремния методом центрифугирования. Показано, что после облучения светом с λ = 404 нм в течение 106 с и последующей сушки при 115 °С длительностью 60 с в отражательно-абсорбционных спектрах фоторезистивных пленок наблюдается смещение в высокоэнергетическую область максимумов интерференционных полос. Оно вызвано уменьшением толщины ФР пленки, обусловленным испарением растворителя в процессе сушки. Эти процессы протекают более интенсивно в пленках AZ nLOF2020, в которых смещение интерференционных полос составляло ~ 9%, в то время как в пленках AZ nLOF2070 оно не достигало 1%. Показано, что полосы поглощения с максимумами при 1070 и 1100 см–1, связанные с асимметричными и симметричными валентными колебаниями С-О-С связей в алифатических эфирах, и при 2940 см–1, обусловленные асимметричными валентными колебаниями СН3 связей, связаны с растворителем. Установлено, что микротвердость пленок серии AZ nLOF20XX увеличивается после стабилизирующей сушки, что вызвано сшиванием молекул фенол-формальдегидной смолы – основы фоторезиста. Полученные экспериментальные данные объяснены с учетом упорядочения структуры фоторезистивной пленки вблизи границы раздела ФР/кремний вследствие ориентации молекул и наличия в пленках AZ nLOF2020 большей концентрации остаточного растворителя. 2025-01-01T00:00:00Z https://elib.psu.by/handle/123456789/50531 Title: Инклюзивность - приоритетное социальное направление Esg-повестки Authors: Редькина, Т. М.; Зенькова, И. В.; Назаров, П. В. 2025-01-01T00:00:00Z https://elib.psu.by/handle/123456789/50530 Title: Вовлечение бизнеса в реализацию прогрессивных инклюзивных практик Authors: Редькина, Т. М.; Измайлович, С. В.; Круглова, И. А. 2025-01-01T00:00:00Z https://elib.psu.by/handle/123456789/50529 Title: Правовые основы свободного использования объектов авторского права (сравнительно-правовое исследование) Authors: Богоненко, В. А. 2025-01-01T00:00:00Z