https://elib.psu.by/handle/123456789/22193 2026-09-03T14:41:58Z https://elib.psu.by/handle/123456789/50532 Title: Стабилизирующая обработка пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF20XX на кремнии Authors: Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Янковский Ю. Н.; Зубова О. А.; Бринкевич С. Д.; Вабищевич С. А. Abstract: Методами ИК-Фурье-спектроскопии и микроиндентирования исследованы пленки негативных фоторезистов (ФР) AZ nLOF2020 и AZ nLOF2070 толщиной ~ 6.0 мкм, нанесенные на поверхность пластин монокристаллического кремния методом центрифугирования. Показано, что после облучения светом с λ = 404 нм в течение 106 с и последующей сушки при 115 °С длительностью 60 с в отражательно-абсорбционных спектрах фоторезистивных пленок наблюдается смещение в высокоэнергетическую область максимумов интерференционных полос. Оно вызвано уменьшением толщины ФР пленки, обусловленным испарением растворителя в процессе сушки. Эти процессы протекают более интенсивно в пленках AZ nLOF2020, в которых смещение интерференционных полос составляло ~ 9%, в то время как в пленках AZ nLOF2070 оно не достигало 1%. Показано, что полосы поглощения с максимумами при 1070 и 1100 см–1, связанные с асимметричными и симметричными валентными колебаниями С-О-С связей в алифатических эфирах, и при 2940 см–1, обусловленные асимметричными валентными колебаниями СН3 связей, связаны с растворителем. Установлено, что микротвердость пленок серии AZ nLOF20XX увеличивается после стабилизирующей сушки, что вызвано сшиванием молекул фенол-формальдегидной смолы – основы фоторезиста. Полученные экспериментальные данные объяснены с учетом упорядочения структуры фоторезистивной пленки вблизи границы раздела ФР/кремний вследствие ориентации молекул и наличия в пленках AZ nLOF2020 большей концентрации остаточного растворителя. 2025-01-01T00:00:00Z https://elib.psu.by/handle/123456789/49752 Title: Deformation approach for the calculation of bent wooden elements Authors: Lazovski, D.; Hil, A.; Gluhov, D. 2025-01-01T00:00:00Z https://elib.psu.by/handle/123456789/49751 Title: Microstructure-Driven Feasibility of Crushed Bamboo Coarse Aggregate for Structural–Insulating Wall Composites Authors: Bakatovich, A.; Yagubkin, A.; Bakatovich, N.; Kizinievič, O.; Trambitski, Y.; Wen, J. 2025-01-01T00:00:00Z https://elib.psu.by/handle/123456789/49750 Title: Обеспечение безопасной эксплуатации магистральных нефтегазопроводов за пределами нормативного срока службы путем восстановительной термической обработки кольцевых сварных соединений Authors: Снарский, А. С.; Янушонок, А. Н.; Snarsky, A.; Yanushonak, A. 2025-01-01T00:00:00Z