Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/16412
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМельников, C. Н.ru_RU
dc.contributor.authorКундас, С. П.ru_RU
dc.date.accessioned2016-04-12T12:40:42Z-
dc.date.available2016-04-12T12:40:42Z-
dc.date.issued2008-03ru_RU
dc.identifier.citationВестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2008. - № 3. - C. 92-98ru_RU
dc.identifier.issn2070-1624ru_RU
dc.identifier.urihttp://elib.psu.by:8080/handle/123456789/16412-
dc.description.abstractПредложена математическая модель, позволяющая рассчитывать формирование тонкопленочных покрытий при магнетронном распылении материалов и объединяющая математическое описание магнитных полей ионно-плазменных устройств, движения электронов и распыляемого вещества в электромагнитном поле, конденсации его на подложке. Модель применима для анализа и проектирования осесимметричных магнетронных распылительных систем. Магнитное поле магнетронной распылительной системы, его форма, распределение, магнитная индукция оказывают влияние на характеристики магнетронного разряда, на коэффициент распыления мишени. Если известно распределение магнитного поля магнетрона, то можно заранее определить его рабочие характеристики и, как результат, получить магнетронную распылительную систему с требуемыми параметрами и разрядными характеристиками.ru_RU
dc.languageruru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherПолоцкий государственный университетru_RU
dc.relation.ispartofВЕСТНИК ПОЛОЦКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА. Серия C, ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ НАУКИru_RU
dc.relation.ispartofHERALD OF POLOTSK STATE UNIVERSITY. Series C, FUNDAMENTAL SCIENCESen_EN
dc.relation.ispartofВЕСНІК ПОЛАЦКАГА ДЗЯРЖАУНАГА УНІВЕРСІТЭТА. Серыя C, ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЯ НАВУКІbe_BE
dc.relation.ispartofseriesСерия C, Фундаментальные науки;2008. - № 3ru_RU
dc.subjectионно-плазменное напылениеru_RU
dc.subjectраспылительные системыru_RU
dc.subjectмодели функционирования покрытийru_RU
dc.titleМодель процесса осаждения тонких пленок магнетронным распылениемru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc533.9ru_RU
Appears in Collections:2008, № 3

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Мельников, Кундас_2008-3.pdf446.47 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.