Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/1827
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
dc.date.accessioned | 2014-04-09T10:18:31Z | - |
dc.date.available | 2014-04-09T10:18:31Z | - |
dc.date.issued | 2010 | - |
dc.identifier.citation | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B, Промышленность. Прикладные науки : научно-теоретический журнал. – Новополоцк : ПГУ, 2010. - № 2. – C. 104-109. | ru_RU |
dc.identifier.issn | 2070-1616 | - |
dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/1827 | - |
dc.description | COMPARATIVE ANALYSIS OF MECHANICAL-AND-PHYSICAL PROPERTIES OF EPITAXIAL LAYERS OF SILICIUM OBTAINED WITH THE HELP OF GASEOUS- AND LIQUID-PHASE EPITAXY / кандидат физико-математических наук, доцент Сергей Ананьевич ВАБИЩЕВИЧ, Наталья Вячеславовна ВАБИЩЕВИЧ (Полоцкий государственный университет); канд. физ.-мат. наук Д.И. БРИНКЕВИЧ, канд. физ.-мат. наук В.С. ПРОСОЛОВИЧ (Белорусский государственный университет, Минск). kandidat fiziko-matematicheskih nauk, docent Sergej Anan'evich VABIShhEVICh, Natal'ja Vjacheslavovna VABIShhEVICh (Polockij gosudarstvennyj universitet); kand. fiz.-mat. nauk D.I. BRINKEVICh, kand. fiz.-mat. nauk V.S. PROSOLOVICh (Belorusskij gosudarstvennyj universitet, Minsk) | ru_RU |
dc.description.abstract | Методом микроиндентирования исследованы эпитаксиальные структуры кремния, полученные методами газофазной и жидкофазной эпитаксии. Установлено, что прочностные характеристики эпитаксиальных слоев существенно зависят от метода получения (газофазная или жидкофазная эпитаксия) и определяются их дефектно-примесным составом. Наблюдалось нормальное гауссово распределение величин микротвердости эпитаксиальных слоев. Показано, что технологические примеси и дислокации упрочняют эпитаксиальные структуры. Добавление в раствор-расплав примеси иттербия снижает микротвердость выращиваемых эпитаксиальных пленок. = Epitaxial structures of silicium, obtained with the help of liquid- and gaseous-phase epitaxy methods, are examined by the microhardness methods. It is found that strength properties of epitaxial layers are dependant significantly on the applied method (liquid- and gaseous-phase epitaxy) and is determined by their defective-impurity composition. Normal Gaussian distribution of values of epitaxial layers of microhardness was observed. It was demonstrated that technological impurities Yb strengthen microhardness of the grown epitaxical films. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Полоцкий государственный университет | ru_RU |
dc.relation.ispartof | Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя B, Прамысловасць. Прыкладныя навукі | be_BE |
dc.relation.ispartof | Herald of Polotsk State University. Series B, Industry. Applied Sciences | en_EN |
dc.relation.ispartof | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B, Промышленность. Прикладные науки | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | Серия B, Промышленность. Прикладные науки;2010. - № 2 | - |
dc.rights | open access | ru_RU |
dc.subject | материаловедение | ru_RU |
dc.subject | газофазная эпитаксия | ru_RU |
dc.subject | жидкофазная эпитаксия | ru_RU |
dc.subject | физико-механические свойства | ru_RU |
dc.subject | эпитаксиальные слои кремния | ru_RU |
dc.title | Сравнительный анализ физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией | ru_RU |
dc.title.alternative | Comparative Analysis of Mechanical-And-Physical Properties of Epitaxial Layers of Silicium Obtained With the Help of Gaseous- and Liquid-Phase Epitaxy | - |
dc.type | Article | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | 2010, № 2 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
104-109.pdf | 302.64 kB | Adobe PDF | ![]() Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.