Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/19909Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Васюков, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-05-05T07:14:40Z | - |
| dc.date.available | 2017-05-05T07:14:40Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.citation | Васюков А. В. Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / А. В. Васюков; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники - Защита сост.27.05.2006. - Минск, 2006. - 21 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/19909 | - |
| dc.description | Alexander V. Vasyukov Equipment and a technological process of monosilane production from apatite processing waste for the polycrystalline silicon manufacture | ru_RU |
| dc.description.abstract | Целью работы является разработка высокоэффективного технохимического оборудования и технологического процесса получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния гидрогенизацией тетрафторида кремния в эвтектическом расплаве солей. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.subject | Автореферат диссертации | ru_RU |
| dc.subject | Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ | ru_RU |
| dc.subject | термолиз гексафторсиликата натрия | ru_RU |
| dc.subject | гидрирование кальция | ru_RU |
| dc.subject | гидрогенизация тетрафторида кремния | ru_RU |
| dc.subject | thermolysis of sodium hexafluosilicate | ru_RU |
| dc.subject | calcium hydrogenation | ru_RU |
| dc.subject | silicon tetrafluoride hydrogenation | ru_RU |
| dc.subject | 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники | ru_RU |
| dc.title | Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния. Автореферат диссертации | ru_RU |
| dc.type | Avtoreferat dissertations | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 661.482:661.968:661.685 | - |
| local.description.annotation | The aim of the work is the development of a highly efficient technological process of monosilane synthesis from apatite processing waste for a polycrystalline silicon manufacture by the silicon tetrafluoride hydrogenation in the ionic melt of salts. | - |
| Appears in Collections: | Авторефераты диссертаций | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| avtoreferat_Васюков А.В._2006.pdf | 922.74 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.