Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/20535
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.date.accessioned2017-10-16T12:45:32Z-
dc.date.available2017-10-16T12:45:32Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.citationВабищевич, С. А. Получение и свойства монокристаллов кремния легированных редкоземельными элементами // Редкоземельные элементы в монокристаллическом кремнии : монография / Д.И. Бринкевич, С.А. Вабищевич, B.C. Просолович, Ю.В. Янковский. – Новополоцк : ПГУ, 2003. – Гл. 1. – С. 9–44.ru_RU
dc.identifier.isbn985-418-193-6-
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/20535-
dc.descriptionVabishchevich, SA Acquisition and properties of silicon single crystals doped with rare-earth elements // Rare-earth elements in monocrystalline siliconru_RU
dc.description.abstractПриведен обзор поведения примесей редкоземельных элементов в монокристаллическом кремнии. Описаны процессы, протекающие при ионном внедрении лантаноидов и последующем отжиге ионно-имплантированных слоев. Освещены возможности использования редкоземельных элементов в технологии изготовления интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов. Предназначена для специалистов в области материаловедения полупроводников в производства полупроводниковых приборов, а также аспирантов и студентов высших учебных заведений.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherПолоцкий государственный университетru_RU
dc.subjectРедкоземельные элементыru_RU
dc.subjectМонокристаллический кремнийru_RU
dc.subjectСвойства монокристаллов кремнияru_RU
dc.subjectМагнитное сопротивлениеru_RU
dc.subjectМагнитная восприимчивостьru_RU
dc.subjectФотопроводимостьru_RU
dc.subjectОптическая поляризация ядерru_RU
dc.titleРедкоземельные элементы в монокристаллическом кремнии. Глава 1. Получение и свойства монокристаллов кремния, легированных редкоземельными элементами : монографияru_RU
dc.typeMonographru_RU
dc.identifier.udc621.315.592:546.28-
Appears in Collections:Разделы и главы из монографий



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.