Исследование воздействия облучения на физико-механические свойства кремния и структур на его основе

Вабищевич, С. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/21439

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Вабищевич, С. А.	-
dc.date.accessioned	2018-03-05T06:09:23Z	-
dc.date.available	2018-03-05T06:09:23Z	-
dc.date.issued	2013	-
dc.identifier.citation	Исследование воздействия облучения на физико-механические свойства кремния и структур на его основе : отчет о НИР (заключ.) / Полоцкий государственный университет ; рук. С. А. Вабищевич. – Новополоцк, 2013. – 80 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://elib.psu.by/handle/123456789/21439	-
dc.description.abstract	Целью работы являлось исследование характера влияния имплантации ионов Sb+ на физико-механические свойства пленок промышленного фоторезиста ФП 9120 на поверхности кремниевых пластин и имплантации ионов бора и фосфора на физико-механические свойства пластин промышленного кремния марки КЭФ 4,5(100), КДБ 12(100) и КДБ 10(111). Методы исследования: микроиндентирование, метод атомно-силовой микроскопии, метод масс-спектрометрии вторичных ионов.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Полоцкий государственный университет	ru_RU
dc.subject	Отчет о НИР	ru_RU
dc.subject	МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ	ru_RU
dc.subject	ФОТОРЕЗИСТ	ru_RU
dc.subject	ИМПЛАНТАЦИЯ	ru_RU
dc.subject	МИКРОИНДЕНТИРОВАНИЕ	ru_RU
dc.subject	МИКРОТВЕРДОСТЬ	ru_RU
dc.subject	ТРЕЩИНОСТОЙКОСТЬ	ru_RU
dc.subject	АДГЕЗИЯ	ru_RU
dc.subject	ЭФФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ	ru_RU
dc.subject	АМОРФИЗАЦИЯ	ru_RU
dc.title	Исследование воздействия облучения на физико-механические свойства кремния и структур на его основе	ru_RU
dc.type	Report of NIR	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР-2013

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
ИНФОРМАЦИОННАЯ КАРТА.pdf		417.43 kB	Adobe PDF	View/Open
РЕКЛАМНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ ПРОДУКЦИИ.pdf		348.8 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Recommend this item Google Scholar