Исследование влияния эффекта «загрузки» разрядной камеры на оптические характеристики СВЧ-плазмотрона резонаторного типа

Abstract

Представлены результаты исследований влияния различного количества и разной толщины объектов обработки, расположенных в объеме разрядной камеры, на плазмообразование в СВЧ-плазмотроне на базе резонатора прямоугольной формы. В качестве материала обрабатываемых объектов использовались пластины из монокристаллического кремния, ситалла и нержавеющей стали. Изучались оптико-спектроскопическая и интегральная оптическая светимость СВЧ-разряда низкого вакуума. = The results of researche of the influence of various quantity and different thickness of processed objects located in the volume of the discharge chamber on plasma formation in a plasmatron on the base of the rectan-gular form resonator are presented. The materials of processed object were monocrystalline silicon, sitall and stainless steel. Optical spectroscopic and integrated optical light-characteristics of the microwave discharge of low vacuum were studied.