Использование эффекта поперечной пьезоЭДС в полупроводниковых преобразователях датчиков внутренних касательных напряжений

Abstract

Предложены новые конструктивные решения полупроводниковых преобразователей для датчиков внутренних касательных напряжений. В разработанных конструкциях преобразователей касательных напряжений используется сдвиговой пьезорезистивный эффект. Впервые в работе решена задача селективного измерения одной или двух компонент касательных напряжений полупроводниковыми преобразователями, находящимися в условиях объемного напряженного состояния. Для исключения влияния на результат измерения нормальных компонент тензора механических напряжений предложено использовать стабилизатор электрического напряжения в цепи питания преобразователя. В предложенных схемах преобразователей, у которых значение выходного сигнала обусловливается влиянием одной или двух компонент касательных напряжений, можно применять объёмные или пленочные преобразователи и использовать широко распространенные полупроводниковые материалы – кремний и германий.