Исследование микротвердости монокристаллического кремния, легированного германием

Abstract

Исследована зависимость прочностных характеристик кремния, выращенного различными промышленными методами, от содержания изовалентной примеси германия в материале. Установлено, что легирование кремния германием независимо от метода и атмосферы выращивания монокристаллов приводит к снижению микротвердости и микрохрупкости материала как подвергшегося термообработке, так и исходного. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом наличия деформационных полей в Si. Ge.