Электронно-лучевые технологии как универсальный технологический инструмент

Abstract

Обладая рядом преимуществ перед традиционными способами обработки поверхностей изделий, электронно-лучевые технологии, наряду с лазерными, занимают одну из лидирующих позиций среди технологий модифицирующего воздействия на изделия не только машиностроительной отрасли, но и в металлургии, микроэлектронике, медицине и т.д. Несмотря на первоначальную направленность применения электронных пучков в качестве инструмента, для реализации электронно-лучевой сварки, в последнее время активно развиваются технологии получения тонких пленок, очистки поверхности, локального упрочнения и прочие. В данной работе представлены основные направления электроннои ионно-лучевых технологий, применяемые для решения определенных технологических задач.