1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/38478
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorСтепнов, А. К.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.date.accessioned2023-05-18T07:31:46Z-
dc.date.available2023-05-18T07:31:46Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationВлияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, С. А. Вабищевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом (ВИТТ - 2017) : Материалы 12-й Международной конференции, Минск, 19–22 сентября 2017 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2017. – С. 409-411.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/38478-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БГУru_RU
dc.titleВлияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремниюru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
409-411.pdf231.42 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.