Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38478Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Степнов, А. К. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-05-18T07:31:46Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-18T07:31:46Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, С. А. Вабищевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом (ВИТТ - 2017) : Материалы 12-й Международной конференции, Минск, 19–22 сентября 2017 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2017. – С. 409-411. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/38478 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Минск : БГУ | ru_RU |
| dc.title | Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 409-411.pdf | 231.42 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.