Search


Current filters:

Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 11-20 of 29 (Search time: 0.005 seconds).
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2015Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния имплантированных ионами В+ и Р+ в процессе создания полупроводниковых приборов по КМОП технологииБринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2015Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2018Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклонГоловчук, В. И.; Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2018Атомно-силовая микроскопия пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста, имплантированного ионами бораВабищевич, С. А.; Васюков, А. В.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.
2017Микротвердость пленок полиимида и полиэтилентерефталата, облученных гамма-квантами 60CoБринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2016Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, С. Д.
2016Микротвердость пленок сополимеров на основе метилметакрилата, облученных γ-квантамиБринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.
2011Микроиндентирование структур фотополимер - кремнийВабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.
2016Взаимодействие индентора с пленками сополимеров на основе метилметакрилатаВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.
2013Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионовВабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И.