Search


Current filters:
Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 21-30 of 30 (Search time: 0.004 seconds).
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2013Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионовВабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И.
2014Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2014Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремнийВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.
2011Упрочнение кремния вблизи границы раздела SiO[2]/SiБринкевич, Д. И.; Петров, В. В.; Просолович, В. С.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Петлицкий, А. Н.
2012Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2013Исследование поверхности полимеров модифицированной радиационной обработкойХарченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.
2008Микротвердость пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бораВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2023Пленки позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120, имплантированные ионами серебраВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2023Прочностные свойства облученных электронами пленок негативных новолачных фоторезистов на монокристаллическом кремнииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.
2023Индентирование облученных электронами пленок диазохинон-новолачных фоторезистов на кремнииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.