Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/72
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | ru |
dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | ru |
dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
dc.date.accessioned | 2013-10-01T14:11:32Z | - |
dc.date.available | 2013-10-01T14:11:32Z | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.citation | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки.- Новополоцк: ПГУ.- 2012.- № 12.- С. 79-88. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/72 | - |
dc.description | MICROSTRENGTHING PROPERTIES OF SURFACE LAYERS OF IMPLANTED SILICON SINGLE CRYSTALS / S. VABISHCHEVICH, N. VABISHCHEVICH, D. BRINKEVICH, V. PROSOLOVICH, YU. YANKOVSKI | en_US |
dc.description.abstract | Методом микроиндентирования исследованы физико-механические свойства монокристаллического кремния, подвергнутого низкоэнергетичной имплантации. Обнаружено приповерхностное упрочнение монокристаллов кремния при имплантации ионов с энергиями E ≥ 500 кэВ, причем величина радиационного приповерхностного упрочнения уменьшается при снижении энергии ионов. При низкоэнергетичной имплантации (Е = 60 кэВ) обнаружено увеличение микротвердости в глубине пластины на расстояниях, существенно превышающих радиус проецированного пробега ионов. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к разупрочнению приповерхностной области монокристалла кремния на глубине до 1 мкм и увеличению трещиностойкости (росту K1С и γ) при малых нагрузках. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого термического отжига. Обсуждается механизм радиационного упрочнения кремния при ионной имплантации. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Полоцкий государственный университет | ru_RU |
dc.relation.ispartof | Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі | be_BE |
dc.relation.ispartof | Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences | en_EN |
dc.relation.ispartof | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | Серия C, Фундаментальные науки;2012.- № 12 | ru |
dc.rights | open access | ru_RU |
dc.subject | Химические элементы и их соединения | ru_RU |
dc.subject | монокристаллический кремний | ru_RU |
dc.subject | Энергетика | ru_RU |
dc.subject | микропрочность | ru_RU |
dc.title | Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Appears in Collections: | 2012, № 12 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.