Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/93
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Смягликов, И. П. | - |
dc.contributor.author | Чубрик, Н. И. | - |
dc.date.accessioned | 2013-10-03T12:55:21Z | - |
dc.date.available | 2013-10-03T12:55:21Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.citation | Вестник Полоцкого государственного университета. Сер. C, Фундаментальные науки.- Новополоцк: ПГУ.- 2013. - № 4. - С. 57-62. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/93 | - |
dc.description.abstract | Исследуются импульсно-периодические потоки катодно-дуговой углеродной плазмы, используемые для нанесения алмазоподобных углеродных покрытий. Рассматриваемые потоки генерировались в вакууме и в атмосфере ацетилена при давлении от 0,2 до 2 Па в результате распыления графитового катода в четырехэлектродной дуговой системе с самовосстанавливающимся тонкопленочным токо-проводом устройства поджига. С применением зондов Ленгмюра установлено, что подложка находит-ся под ускоряющим плавающим потенциалом –15…35 В. Функция распределения электронов по энергиям является максвелловской с температурой электронов около 50 эВ. Скорость самых высокоэнергетиче-ских электронов плазменного потока превышает 30 км/с, в то время как скорость направленного дви-жения плазмы составляет 20 км/с в вакууме и 8 км/с в атмосфере ацетилена. При импульсном дуговом разряде в атмосфере ацетилена наблюдается существенное уменьшение энергии ионов углерода от 30 до 4 эВ по сравнению с вакуумным катодно-дуговым разрядом. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Полоцкий государственный университет | ru_RU |
dc.relation.ispartof | Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі | be_BE |
dc.relation.ispartof | Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences | en_EN |
dc.relation.ispartof | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | Серия C, Фундаментальные науки;2013.- № 4 | - |
dc.rights | open access | ru_RU |
dc.subject | Физика плазмы | en_US |
dc.subject | Электронные и ионные явления | en_US |
dc.subject | зондовая диагностика | en_US |
dc.subject | углеродные покрытия | en_US |
dc.subject | алмазоподобные покрытия | en_US |
dc.subject | вакуум | en_US |
dc.subject | ацетилен | en_US |
dc.subject | сильноточные разряды | en_US |
dc.subject | импульсно-периодические разряды | en_US |
dc.subject | плазменные ускорители | en_US |
dc.title | Зондовая диагностика плазмы катодно-дугового разряда, используемого для синтеза алмазоподобных углеродных покрытий | ru_RU |
dc.title.alternative | Probe Diagnostics of Cathodic Arc Plasma, Used for Synthesis of Diamond-Like Carbon Coatings | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Appears in Collections: | 2013, № 4 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.