Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/23400| Title: | Разработка и исследование экспериментальных макетов электронных источников с плазменным эмиттером для компенсации ионного пучка или совместного ионно-электронного воздействия по заданию : "Комбинированные электронно-ионные системы и плазменно-пучковые процессы модификации поверхности и нанесения легированных диэлектрических слоев для электроники" |
| Authors: | Антонович, Д. А. Голубев, Ю. П. Груздев, В. А. Солдатенко, П. Н. |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет |
| Citation: | Разработка и исследование экспериментальных макетов электронных источников с плазменным эмиттером для компенсации ионного пучка или совместного ионно-электронного воздействия по заданию : "Комбинированные электронно-ионные системы и плазменно-пучковые процессы модификации поверхности и нанесения легированных диэлектрических слоев для электроники" [Электронный ресурс] : отчет о НИР (заключительный) : ГБ - 1516 / Министерство образования Республики Беларусь, Полоцкий государственный университет ; руководитель Д.А. Антонович, В.А. Груздев ; исполнители : Ю.П. Голубев, П.Н. Солдатенко. - № ГР 20160829. - 2018. - 60 с. |
| Abstract: | Цель работы – разработка плазменных источников электронов, формирующих низкоэнергетичные пучки для компенсации ионного объёмного заряда, создание и исследование экспериментальных макетов комбинированных электронно- и ионно-плазменных источников, предназначенных для поверхностной модификации материалов. |
| Keywords: | Отчет о НИР Плазменные источники заряженных частиц Низкоэнергетичные пучки Плазменные эмиттеры Электронно- и ионно лучевые технологии |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/23400 |
| Appears in Collections: | Электрофизика. Плазменные эмиссионные системы. Отчеты о НИР-2018 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ИК_20160829.pdf | 251.2 kB | Adobe PDF |  View/Open | |
| РТО_20160829.pdf | 242.74 kB | Adobe PDF |  View/Open | |
| Антонович_20160829.pdf | 2.18 MB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.