Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/3500
Title: Проектирование и системы автоматизированного проектирования интегральных микросхем, микроэлектроника и микросхемотехника: учебно-методический комплекс для студентов специальностей 1-39 02 01 «Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств», 1-36 04 02 «Промышленная электроника» / В 2 ч. Ч. 1. Технология микроэлектронных устройств
Authors: Довгяло, Д. А.
Issue Date: 2012
Abstract: Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Предназначен для студентов радиотехнических факультетов, аспирантов и преподавателей.
Keywords: Технологические процессы в полупроводниковой технологии
Технологические процессы в гибридной технологии
Сборка и герметизация микросхем
Изготовление и эксплуатация микросхем
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/3500
Appears in Collections:УМК

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
УМК Довгяло.pdf3.02 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.