Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/3500| Title: | Проектирование и системы автоматизированного проектирования интегральных микросхем, микроэлектроника и микросхемотехника: учебно-методический комплекс для студентов специальностей 1-39 02 01 «Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств», 1-36 04 02 «Промышленная электроника» / В 2 ч. Ч. 1. Технология микроэлектронных устройств |
| Authors: | Довгяло, Д. А. |
| Issue Date: | 2012 |
| Abstract: | Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Предназначен для студентов радиотехнических факультетов, аспирантов и преподавателей. |
| Keywords: | Технологические процессы в полупроводниковой технологии Технологические процессы в гибридной технологии Сборка и герметизация микросхем Изготовление и эксплуатация микросхем |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/3500 |
| Appears in Collections: | Кафедра энергетики и электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| УМК Довгяло.pdf | 3.02 MB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.