Browsing by Author Гринюк, Е. В.
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2025 | Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Просолович, В. С.; Зубова, О. А.; Колос, В. В.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А. |
| 2025 | Стабилизирующая обработка пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF20XX на кремнии | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Янковский Ю. Н.; Зубова О. А.; Бринкевич С. Д.; Вабищевич С. А. |