1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в зарубежных изданиях
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/49753
Title: Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии
Authors: Бринкевич, Д. И.
Гринюк, Е. В.
Просолович, В. С.
Зубова, О. А.
Колос, В. В.
Бринкевич, С. Д.
Вабищев, С. А.
Issue Date: 2025
Citation: Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии / Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк, В. С. Просолович [и др.] // Микроэлектроника. – 2025. – Т. 54, № 1. – С. 55-63. – DOI 10.31857/S0544126925010068.
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/49753
metadata.dc.identifier.doi: 10.31857/S0544126925010068
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях
Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
55-63.pdf3.94 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.