Skip navigation
Home
Browse
Communities
& Collections
Browse Items by:
Issue Date
Author
???browse.menu.type???
Help
Language
English
русский
Sign on to:
My DSpace
User Registration
Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
Search
Search:
All of DSpace
Периодические издания Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
Серия A. Гуманитарные науки. ISSN 2710-3838 (Online)
Серия B. Промышленность. Прикладные науки. ISSN 2710-3900 (Online)
Серия C. Фундаментальные науки. ISSN 2710-4230 (Online)
Серия D. Экономические и юридические науки. ISSN 2710-1916 (Online)
Серия E. Педагогические науки. ISSN 2710-4303 (Online)
Серия F. Строительство. Прикладные науки. ISSN 2710-4435 (Online)
for
Current filters:
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Start a new search
Add filters:
Use filters to refine the search results.
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Results 1-8 of 8 (Search time: 0.006 seconds).
previous
1
next
Item hits:
Issue Date
Title
Author(s)
2021
Модификация пленок диазохинон-новолачного фоторезиста имплантацией ионов бора и фосфора при повышенной плотности ионного тока
Шестовский, Д. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Shestovsky, D.
;
Brinkevich, D.
;
Prosolovich, V.
;
Yankovsky, U.
;
Vabishchevich, S.
;
Vabishchevich, N.
2015
Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
2016
Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Бринкевич, С. Д.
2013
Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов
Вабищевич, Н. В.
;
Вабищевич, С. А.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Оджаев, В. Б.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Простомолотов, А. И.
2014
Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Лукашевич, М. Г.
;
Оджаев, В. Б.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
2014
Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремний
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Оджаев, В. Б.
;
Янковский, Ю. Н.
2012
Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
2008
Микротвердость пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
Discover
Author
8
Бринкевич, Д. И.
8
Вабищевич, С. А.
8
Просолович, В. С.
3
Оджаев, В. Б.
1
Brinkevich, D.
1
Prosolovich, V.
1
Shestovsky, D.
1
Vabishchevich, N.
1
Vabishchevich, S.
1
Yankovsky, U.
.
next >
Subject
1
Имплантация
1
имплантированные ионы
1
ионная имплантация
1
метод склерометрии
1
микропрочность
1
монокристаллический кремний
1
Показатель преломления
1
Полимер
1
Полупроводниковые материалы и изд...
1
Проводниковые материалы и изделия
.
< previous
next >
Date issued
1
2020 - 2021
6
2010 - 2019
1
2008 - 2009