1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой

Поиск


Текущий фильтр:


Новый поиск
Добавить фильтр

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.

 | 
Результаты 1-7 из 7.
  • назад
  • 1
  • дальше
Найденные ресурсы:
Дата публикацииНазваниеАвтор(ы)
2015Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния имплантированных ионами В+ и Р+ в процессе создания полупроводниковых приборов по КМОП технологииБринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2015Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2016Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, С. Д.
2013Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионовВабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И.
2014Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2014Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремнийВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.
2012Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.

Фильтр