Влияние электроимпульсного полирования подложки на качество вакуумно-плазменных покрытий TiN

Abstract

Исследуются характеристики качества вакуумно-плазменных покрытий TiN : шероховатость, адгезионная прочность и пористость. Показано, что электроимпульсное полирование поверхности подложки способствует получению высококачественных покрытий. Качество полированной поверхности зависит от химического и фазового состава сплава, наличия в нем неметаллических включений и размера зерна. Электроимпульсное полирование оказывает существенное влияние на физико-химическое состояние поверхностного слоя металла. В процессе полирования удаляется дефектный поверхностный слой, содержащий концентраторы напряжений, поверхность металла не повреждается и не загрязняется частицами абразива и полировочных паст. В поверхностном слое выравнивается фазовый состав и уменьшается содержание кислорода и его соединений. Предложены математические зависимости для расчета параметров шероховатости и оптимального времени полирования.