Редкоземельные элементы в монокристаллическом кремнии. Глава 2. Термическое дефектообразование в  Si:P3Э : монография

Вабищевич, С. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/20536

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Вабищевич, С. А.	-
dc.date.accessioned	2017-10-17T07:03:22Z	-
dc.date.available	2017-10-17T07:03:22Z	-
dc.date.issued	2003	-
dc.identifier.citation	Вабищевич, С. А. Термическое дефектообразование в Si:P3Э // Редкоземельные элементы в монокристаллическом кремнии : монография / Д.И. Бринкевич, С.А. Вабищевич, B.C. Просолович, Ю.В. Янковский. – Новополоцк : ПГУ, 2003. – Гл. 2. – С. 45–71.	ru_RU
dc.identifier.isbn	985-418-193-6	-
dc.identifier.uri	https://elib.psu.by/handle/123456789/20536	-
dc.description	Vabishchevich, SA Thermal Defect Formation in Si: P3E // Rare-earth Elements in Monocrystalline Silicon	ru_RU
dc.description.abstract	Приведен обзор поведения примесей редкоземельных элементов в монокристаллическом кремнии. Описаны процессы, протекающие при ионном внедрении лантаноидов и последующем отжиге ионно-имплантированных слоев. Освещены возможности использования редкоземельных элементов в технологии изготовления интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов. Предназначена для специалистов в области материаловедения полупроводников в производства полупроводниковых приборов, а также аспирантов и студентов высших учебных заведений.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Полоцкий государственный университет	ru_RU
dc.subject	Термическое дефектообразование в Si:P3Э	ru_RU
dc.subject	Генерация термодоноров в Si:P3Э	ru_RU
dc.subject	Взаимодействие лантаноидов с кислородом при термообработке монокристаллов	ru_RU
dc.subject	Формирование высокотемпературных термодоноров в Si:P3Э	ru_RU
dc.subject	Термическое дефектообразование в кремнии, легированном одновременно германием и гадолинием	ru_RU
dc.subject	Закалочные термодефекты в кремнии, легированном редкоземельными элементами	ru_RU
dc.title	Редкоземельные элементы в монокристаллическом кремнии. Глава 2. Термическое дефектообразование в Si:P3Э : монография	ru_RU
dc.type	Monograph	ru_RU
dc.identifier.udc	621.315.592:546.28	-
Appears in Collections:	Разделы и главы из монографий

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Вабищевич С. А._Монография_2003-Глава 2.pdf		3.53 MB	Adobe PDF	View/Open
Вабищевич С.А._монография_2003-Список использованной литературы.pdf		1.05 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Recommend this item Google Scholar