Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/20540Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-10-17T07:28:29Z | - |
| dc.date.available | 2017-10-17T07:28:29Z | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.citation | Вабищевич, С. А. Поведение Si:P3Э в полях ионизирующих излучений // Редкоземельные элементы в монокристаллическом кремнии : монография / Д.И. Бринкевич, С.А. Вабищевич, B.C. Просолович, Ю.В. Янковский. – Новополоцк : ПГУ, 2003. – Гл. 3. – С. 72–101. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 985-418-193-6 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/20540 | - |
| dc.description | Vabishchevich, SA Behavior of Si: P3E in the fields of ionizing radiations // Rare-earth elements in monocrystalline silicon | ru_RU |
| dc.description.abstract | Приведен обзор поведения примесей редкоземельных элементов в монокристаллическом кремнии. Описаны процессы, протекающие при ионном внедрении лантаноидов и последующем отжиге ионно-имплантированных слоев. Освещены возможности использования редкоземельных элементов в технологии изготовления интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов. Предназначена для специалистов в области материаловедения полупроводников в производства полупроводниковых приборов, а также аспирантов и студентов высших учебных заведений. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Полоцкий государственный университет | ru_RU |
| dc.subject | Облучение γ-квантами и электронами | ru_RU |
| dc.subject | Накопление радиационных дефектов | ru_RU |
| dc.subject | Влияние редкоземельных элементов на свойства нейтронно-облученного кремния | ru_RU |
| dc.subject | Радиационно-ускоренная диффузия редкоземельных элементов в кремнии | ru_RU |
| dc.title | Редкоземельные элементы в монокристаллическом кремнии. Глава 3. Поведение Si:P3Э в полях ионизирующих излучений : монография | ru_RU |
| dc.type | Monograph | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.315.592:546.28 | - |
| Appears in Collections: | Разделы и главы из монографий | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Вабищевич С. А._Монография_2003-Глава 3.pdf | 3.69 MB | Adobe PDF |  View/Open | |
| Вабищевич С.А._монография_2003-Список использованной литературы.pdf | 1.05 MB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.