Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/25406
Title: Физические пределы вертикального масштабирования биполярных n–p–n-транзисторов
Authors: Емельянов, А. В.
Пилипенко, В. А.
Keywords: Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: Sep-2007
Publisher: Полоцкий государственный университет
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2007. - № 9. - C. 75-78
Series/Report no.: Серия C, Фундаментальные науки;2007. - № 9
Abstract: Основным ограничивающим факторам при вертикальном масштабировании являются электрический пробой p–n-переходов: база – коллектор, коллектор – эмиттер, и прокол базы в n–p–n-транзисторе, которые вызываются лавинным умножением носителей в эпитаксиальном слое и смыканием обедненных слоев в базовой области при достижении некоторых минимальных размеров активных областей, толщины полупроводниковых слоев и диэлектрических пленок. На основании численного моделирования параметров биполярного n–p–n-транзистора установлены физические пределы его вертикального масштабирования. Выполнен расчет основных структурных характеристик базовых элементов сверхбольших интегральных схем, являющихся обязательным условием для начала разработки конструкции и технологии любой масштабируемой БИС.
URI: http://elib.psu.by:8080/handle/123456789/25406
ISSN: 2070-1624
Appears in Collections:2007, № 9

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Емельянов_Пилипенко_2007-9.pdf682.87 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.