Разработка и исследование газоразрядных структур для формирования ионных и электронных потоков с ускорением зарядов в двойных электрических слоях в плазме

Abstract

Объектом исследований являются потоки заряженных частиц, эмитированные из плазмы газового разряда. Цель работы – разработка, создание и исследование газоразрядных структур для формирования ионных и электронных потоков с ускорением в двойных электрических слоях в плазме. В результате выполнения работы разработан экспериментальный образец плазменного источника для формирования совмещённых электронно-ионных пучков на основе двойной плазменной эмиссионной системы. Показано, что такая эмиссионная система обеспечивает повышение первеанса ускоряющей системы за счёт обратного потока зарядов из вторичной плазмы в эмитирующую плазму и частичной компенсации объёмного заряда пучка. Подана заявка на патент на изобретение. Область применения: совмещенные или попеременные ионно-электронные пучки, формируемые в разработанной конструкции, могут быть использованы при реализации технологий нанесения тонкопленочных слоев, для поддержания процессов ионизации и обеспечения устойчивого горения разряда, компенсации как объемного заряда в пучке, так и поверхностного на формируемой пленке.