Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/28473Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Свадковский, И. В. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Кундас, С. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-12-31T07:47:26Z | - |
| dc.date.available | 2021-12-31T07:47:26Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.citation | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2004. - № 11. - C. 63-69. | ru_RU |
| dc.identifier.issn | 2070-1624 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/28473 | - |
| dc.description.abstract | Представлена разработанная 3D-модель, позволяющая рассчитывать профиль распределения толщины тонкопленочного покрытия при ионно-лучевом распылении и оптимизировать распылительную систему, включающую в себя подложку, мишень и кольцевой ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Полоцкий государственный университет | ru_RU |
| dc.relation.ispartof | Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі | be_BE |
| dc.relation.ispartof | Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences | en_EN |
| dc.relation.ispartof | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Серия C, Фундаментальные науки;2004. - № 11 | - |
| dc.rights | open access | ru_RU |
| dc.subject | Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru_RU |
| dc.title | Моделирование процесса ионно-лучевого распыления из кольцевого ионного источника | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 533.9.924+621.793.18 | - |
| Appears in Collections: | 2004, № 11 | |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.