Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/28473| Название: | Моделирование процесса ионно-лучевого распыления из кольцевого ионного источника |
| Авторы: | Свадковский, И. В. Мельников, С. Н. Кундас, С. П. |
| Дата публикации: | 2004 |
| Издатель: | Полоцкий государственный университет |
| Библиографическое описание: | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2004. - № 11. - C. 63-69. |
| Аннотация: | Представлена разработанная 3D-модель, позволяющая рассчитывать профиль распределения толщины тонкопленочного покрытия при ионно-лучевом распылении и оптимизировать распылительную систему, включающую в себя подложку, мишень и кольцевой ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем. |
| Ключевые слова: | Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/28473 |
| Права доступа: | open access |
| Располагается в коллекциях: | 2004, № 11 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 63-69.pdf | 270.03 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.