Особенности и перспективы развития современной микроэлектроники

Abstract

Рассмотрены тенденции развития технологии изготовления микропроцессоров на основе анализа результатов передовых зарубежных исследований, а также собственных разработок, в том числе по созданию новых материалов для производства микросхем, по усовершенствованию методов проекционной фотолитографии, по разработке принципиально новых моделей транзисторов.