Аннигиляция термодоноров в кремнии, легированном германием

Abstract

Методом измерения эффекта Холла установлено, что изовалентная примесь Ge подавляет процесс диссоциации термодоноров в кремнии при температурах 500 – 520 ℃. Эффективность нейтрализации термодоноров при Т > 525 ℃ немонотонно зависит от содержания германия. Доля неотожженных при длительном нагреве термодоноров в Si:Ge,O существенно ниже, чем в контрольном материале. Экспериментальные результаты интерпретированы с учетом наличия в кристаллах Si:Ge, O внутренних деформационных полей, создаваемых атомами изовалентной примеси.