Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/29396| Title: | Термическое дефектообразование в кремнии, легированном магнием |
| Authors: | Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет |
| Citation: | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B, Прикладные науки. - 2003. - № 2. - С. 45-47 |
| Abstract: | Исследовано влияние примеси магния на процессы термического дефектообразования в монокристаллическом кремнии. Показано, что при выращивании из расплава по методу Чохральского Mg попадает в монокристалл кремния в виде соединений MgO и Mg2Si и не проявляет электрической активности в кремнии. В концентрациях ниже 8·1017 см–3 магний не оказывает заметного влияния на процессы генерации термодоноров в кремнии. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/29396 |
| metadata.dc.rights: | open access |
| Appears in Collections: | 2003, Т. 2 № 2 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.