1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/29951
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.date.accessioned2022-03-02T05:53:42Z-
dc.date.available2022-03-02T05:53:42Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationАдгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантами / С. А. Вабищевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Международной научной конференции, Минск, 14–16 окт. 2020 г. / редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 161-166.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/29951-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск: БГУru_RU
dc.titleАдгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантамиru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
161-166.pdf665.34 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.